空气洁净度

超净工作台置于正常工作条件下运行１０ｍｉｎ，使用尘埃粒子计数器（取样流量２８３Ｌ／ｍｉｎ或２８３Ｌ／ｍｉｎ，ＭＰＥ：±３０％）的采样口置于工作台面向上２００ｍｍ高度横向中心线位置均匀取２个点作为测量点（可多于２个点），最小采样量不得小于２Ｌ，每个点测量５次，取各测量点的算术平均值作为测量结果，并判断超净工作台的空气洁净度等级。３３风速在距离内侧壁板１００ｍｍ围成，距离过滤器出风板１００ｍｍ处平面区域内测量气流的平均风速，平面区域按行、列均为１５０ｍｍ的网格分布，各个网格中心点即为风速测量点，若去除测量边界后净尺寸不等于１５的整数倍，则允许修正测量点的距离，使用热球式风速仪或风量测量仪（测量范围：（０５～３０）ｍｍ／ｓ；ＭＰＥ：±３％）测量，各测量点读数的算术平均值为其平均风速。各测量点测量值的相对标准偏差为风速不均与度。