目前各单位在气源的出口多加一级净化管, 其管内填充变色硅胶颗粒。这种净化装置能有效的除去气源中的水份, 还能部分的吸附油份和沉淀大的固体颗粒, 但对其它杂质基本无效。在气源的净化处理中, 应根据不同气源所含杂质的成份, 采用不同的物质和多级联用的方法来净化气源。对于氮气的净化处理应该用活性炭、分子筛、硅胶等物质采用多级联用来吸附沉淀气源中的油份、固体颗粒、低分子有机气体、H₂O等。对于氢气应采用硅胶、分子筛、吸附H₂O、有机低分子气体, 如果采用氢气发生器应加一级除O₂。对于空气, 应采用分子筛、活性炭、硅胶等多级联用, 除去气源中的杂质。另外多级联用的方法可对发生器产生的气源起稳压、稳流的作用, 在使用过程中应根据杂质的多少定期更换活性炭、分子筛、硅胶等吸附物并清洗容器。