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静态条件下垂直单向流洁净工作台操作区截面风速进行调研

[导读]sw-cj-fd系列操作台面上方300 mm平面上 (记为OP300) 进行了不同风速下的速度场均匀性测试, 测点布置原则为将测试平面的面积分成不少于12等分的面积, 各面积中心点即为风速测点, 各测点间距不应大于25 cm。大量洁净工作台速度场均匀性测试结果类似, 可重复性强。

1) 相同风速挡位情况下, 主过滤器下方100 mm平面上风速值略大于台面上方300 mm平面上的风速, 且基本趋势为风速越低偏差越大, 这与气流扩散有关, 符合射流规律。2) 主过滤器下方100 mm处的风速不均匀度小于0.10, 风速不均匀率小于0.15;台面上方300 mm处的风速不均匀度小于0.20, 风速不均匀率小于0.30。3) 风速不均匀度、风速不均匀率与风速关系的基本趋势为反比, 即风速越大, 风速不均匀度、风速不均匀率越小, 表明风速均匀性越好, 则截面风速为0.5 m/s时, 速度场均匀性不会劣于本试验条件下的4挡风速。4) 同一风速挡位、同一测试平面上, 风速不均匀度值小于风速不均匀率值。5) 相同风速挡位情况下, 主过滤器下方100 mm平面上的风速不均匀度、风速不均匀率均小于台面上方300 mm平面上的相应数值, 表明主过滤器下方100 mm处的风速均匀性优于台面上方300 mm处。6) 测试结果符合FS 209B, JIS B 9922—2001, JG/T 19—1999中有关洁净工作台风速均匀性的规定, 即主过滤器下方100mm平面上每个测点的风速在平均风速的±20%范围内。

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