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合肥科晶GSL-4Z四通道质子流量计控制系统

品 牌:合肥科晶

型 号:GSL-4Z

市场价:1

促销价:<请联系客服>

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流量范围:一路:1—99SCCM 二路:1—199SCCM三路:1—199SCCM 四路:1—499SCCM

客服电话:021-5835-7237  173-2132-1081  180-1647-9018  

详细介绍

产品介绍:

GSL-4Z是一款多路质量流量计控制系统,其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里,移动柜最大可以承重1000Lbs,所以在与本公司大多数管式炉配套使用时,可将管式炉置于移动柜上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一6"的触摸屏上,同时可以实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛的用于材料界中CVD实验和各种材料的退火实验。

控制面板:

各通道的气路设定和查看都集中在一6"的触摸屏上        可通过触摸屏设定每个通道的气体流量,实时查看各通道的流量曲线和设定数据


技术参数:

质子流量控制器:

流量范围:一路:1—99SCCM 二路:1—199SCCM三路:1—199SCCM  四路:1—499SCCM

其他量程可以选定 ,标准的均以N2标定(通入其他气体时可以根据说明书中列出的气体转换系数,算出所要设定的气体流量)。

工作温度:5—45℃

准确度:±1.5%F.S.

线性:±(0.5-1.5)%F.S.

重复精度:±0.2%F.S.

机械压力表:有一机械压力表安装于前面板上,与混气罐相连接 

量程:-0.1Mpa—0.15MPa

气路接口:气路的接口都采用6.35的不锈钢卡套接头

通气管道:内部连接管道为1/4”不锈钢管;外部通气管道为1/4”聚四氟管

混气罐材料:304不锈钢 Φ80×120mm

外形尺寸:长600×宽745×高700mm

质保期:一年质保期,,终生维护






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