原理及分类
按工作原理可分为抽除式泵、捕集式泵
（1） 抽除式泵。 其原理是通过抽吸系统中的气体， 将其排至系统外来获得真空。 例如液环泵、 旋片泵、 滑阀泵、 罗茨泵、扩散泵、往复泵等。
（2） 捕集式泵。 其原理是捕集系统中的气体分子， 将其直接吸附在泵的工作壁面上而不排出系统。例如吸附泵等。
抽除式泵
主要包括变容真空泵和动量传输泵
（1） 变容真空泵。 是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气排气， 达到抽气目的。 可分为往复式及旋转式。 往复式泵是利用泵腔内活塞往复运动而将气体吸入、 压缩并排出的泵。旋转式泵是利用泵腔内转子的旋转运动将气体吸入、压缩并排出的泵。变容真空泵可分为：油封式泵（主要包括旋片、定片、滑阀、余摆线式等）、液环泵、罗茨泵等。
（2）动量传输泵。是依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体分子， 气体分子从泵的入口传输到出口。 主要包括 ：
①分子真空泵。 是在分子流区域内依靠高速运动的刚体表面传递给气体分子动量， 使气体分子在刚体表面运动方向上产生定向流动，从而达到抽气目的获得真空的泵。 主要有牵引分子泵、涡轮分子泵和两者的组合