超声波引入溶液中时，会产生交替压力，高于空化阈值的声波在液体中传播时能够产生空化气泡，并且能显著提高气体从溶液中到气泡的传质速率。空化气泡由溶液中微小的气核产生，在声波的稀疏相内由于张应力的作用会产生这些空泡，如果张应力(也就是负压力)在空泡形成后继续存在，此时空化气泡就会扩长到初始尺寸 的许多倍 ，在这种情况下，空化气泡保持球型结构，之后不断地增长、振动、崩溃 。超声波在液相中作用时，溶液中气体成分可通过气一液界面“定向扩散”进入空化气泡，空化气泡进入生长阶段，当空化气泡上升到溶液表面崩溃时，气体会从气泡中逸出，这就造成了脱气现象。大体上，超声波液相脱气作用主要分为三个阶段：①空化气泡成核阶段，即气体分子从溶液中到气泡的扩散产生的生长阶段；②气泡聚集形成大气泡的阶段；③大气泡漂浮到液体表面崩溃的逸出阶段