高效过滤器检漏仪由气溶胶发生器和光度计组成。其中，气溶胶发生器的压力计量程为(0~550)kPa，分辨力7kPa，大允许误差为±7 kPa，气溶胶发生器的压力计应经过计量校准。光度计为线性或对数刻度，可以将过滤器上游气流中浓度不低于10μg/L DOP(或相当液体)多分散气溶胶微粒标示为100%，能检测0.001%同一气溶胶微粒，并且经过计量校准。高效过滤器计数检漏仪则由气溶胶发生器、颗粒稀释器及计数检漏仪(配有手持式扫描采样探头)三部分组成。仪器的检测项目包括外观检查、风速、高效/超高效过滤器检漏、洁净度、气流模式、照度、噪声、振动、产品保护。另外，关于仪器的复校时间间隔，标准指出：由于复检时间间隔的长短是由仪器的使用情况、使用者、仪器本身质量等诸因素所决定的，因此，送检单位可根据实际使用情况自主决定复检时间间隔，复检时间间隔建议不超过1年。
 以上新规范依据JJF 1071《国家计量校准规范编写规则》、JJF 1001《通用计量术语及定义》和JJF 1059.1《测量不确定度评定与表示》共同构成支撑本规范制定工作的基础性系列规范。测试校准方法及计量特性等主要参考了JG/T 292-1010《洁净工作台》、YY/T 1539-2010《医用洁净工作台》、ISO 14644-1:2015洁净室及相关受控环境第1部分。