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上海缔伦低噪声原子力显微镜测量单元设计

2021-11-07 19:56:16
[导读]为进一步提高大气下非接触式原子力显微镜(NC-AFM)表征分辨率及敏度,本文提出了一种基于光偏转检测方法的新型非接触式噪声溯源抑制模型及多级隔振的机械振动噪声主动隔振装置。上海缔伦光学仪器有限公司介绍通过多源噪声抑制系统的设计实现了实验环境下传递到实验装置的高低烦振动由69nm有效的衰减至0.03。

近年来,原子力显徽镜精密测量技术取得了长足的进展。超高分辨原子力显微镜精密测量技术是人类认识微观、纳观、甚至原子的“眼睛”,广泛应用在三维形貌与电荷等物理量测量方面。随着大气下原子力显微镜的不断发展,其对测量分辨率及灵敏度的要求不断提高,而精密仪器的测量精度不仅与仪器本身的精度有关,还受到周同环境等诸多因素的影响,如仪器的振动噪声。上海缔伦光学仪器有限公司介绍在大气下非接触AFM"中,当测量样品时,探针尖端与样品间距保持在0.05~0.2nm,因此,应当在探针测量样品表面时控制探针尖端与样品表面的距离。此外,由于被测样品表面的四凸在0.1~1nm之间,所以为了能够对不同样品表面进行高分辨测量,上海缔伦光学仪器有限公司引用需要将从外部传到AFM测量主体的振动影响降低到0.05nm以下振动一般来源于地板振动和空气振动。地板振动包括建筑物本身的摇晃、走廊的振动、测试仪器等的机械性的振动。空气振动有声音和风等。这些振动中同时存在着低频和高频噪声,所以在设计除振装置时要同时考虑。

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