A级洁净区
洁净操作区的空气温度应为20—24℃
洁净操作区的空气相对湿度应为45%—60%操作区的风速:水平风速≥0.54m/s
垂直风速≥0.36m/ s
高效过滤器的检漏大于99.97%照度:>300lx-600lx
噪音:≤75db(动态测试)B级洁净区
洁净操作区的空气温度应为20-24℃
洁净操作区的空气相对湿度应为45%一60%房间换气次数:≥25次/h
压差:
B级区相对室外≥10Pa,同一级别的不同区域按气流流向应保持一定的压差。高效过滤器的检漏大于99.97%
照度:>300lx-600lx
噪音:≤75db(动态测试)c级洁净区
洁净操作区的空气温度应为20—24℃洁净操作区的空气相对湿度应为45%—60%房间换气次数:≥25次/h
压差:
C级区相对室外≥10Pa,同一级别的不同区域按气流流向应保持一定的压差。高效过滤器的检漏大于99.97%
照度:>300lx-600lx
噪音:≤75db(动态测试)D级洁净区
洁净操作区的空气温度应为18—26℃
洁净操作区的空气相对湿度应为45%—60%房间换气次数:≥15次/h
压差:100，000级区相对室外≥10Pa,高效过滤器的检漏大于99.97%
照度:>3001x-6001x
噪音:≤75db(动态测试)