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昆山禾创浅析超声波清洗机以及清洗方法

2022-11-14 11:44:58
[导读]超声波清洗机可大大节约清洗剂的使用量,使硅片清洗时更省水,省电,对环保作用也很大,最直接是大大降低了清洗成本。昆山禾创超声仪器有限公司指出
1.一种超声波清洗装置,其特征在于:该装置包括: 清洗槽,其用于存储清洗液; 超声波发生器,其包括至少一个超声波振荡板,所述的超声波振荡板设置在所述的清洗槽内,所述的超声波振荡板能够向存储在所述清洗槽内的清洗液施加超声波振动; 气泡发生器,其能够在存储有清洗液的清洗槽中产生气泡,所述的气泡发生器具有至少一个气泡逸出口,所述的气泡逸出口能够向所述超声波振荡板的超声波振动路径上输送气泡。2.根据权利要求1所述的超声波清洗装置,其特征在于:所述气泡逸出口所产生的气泡的直径为所述超声波振荡板在所述清洗液中振荡所产生的空化气泡的直径的5倍以上。3.根据权利要求1所述的超声波清洗装置,其特征在于:所述的气泡发生器包括至少一根与一高压气源相连通的鼓泡管,所述的鼓泡管上开设有至少一个小孔,所述的小孔构成所述的气泡逸出口。4.根据权利要求3所述的超声波清洗装置,其特征在于:所述的气泡发生器包括多根鼓泡管,多根所述的鼓泡管平行分布在相应的所述超声波振荡板的上方。5.根据权利要求1所述的超声波清洗装置,其特征在于:所述的超声波振荡板设置在所述清洗槽的内底部,所述的气泡逸出口位于所述超声波振荡板的正上方。6.根据权利要求5所述的超声波清洗装置,其特征在于:所述超声波振荡板的上方还设置有用于承托被清洗件的支撑托架,所述的气泡逸出口位于所述的超声波振荡板与所述的支撑托架之间。7.根据权利要求1所述的超声波清洗装置,其特征在于:所述的清洗槽为上部敞口式清洗槽。8.根据权利要求1所述的超声波清洗装置,其特征在于:所述的超声波振荡板的振荡频率为28KHz以上。9.一种超声波清洗方法,其特征在于:该方法包括如下步骤: 准备一个内设超声波振荡板的清洗槽,向清洗槽内注入清洗液,将被清洗件以及超声波振荡板浸没在所述的清洗液中; 在所述的超声波振荡板与被清洗件之间持续输入气泡; 利用所述超声波振荡板向所述的清洗液、气泡施加超声波振动从而实现对被清洗件表面的清洗。

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