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河南诺巴迪NBD-HR1200-110IT-170退火炉

品 牌:诺巴迪

型 号:NBD-HR1200-110IT-170

市场价:1

促销价:<请联系客服>

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河南诺巴迪NBD-HR1200-110IT-170 温度测量精度:±0.2℃; 温度控制重复性:±1℃; 温度控制精确度:±1℃; 温场均匀性:±2℃; 温度状态工艺时间(S):2~100(100~1000℃); 最快升温速率:500℃/S; 降温速率(℃/S):1~200(通氮气,速率更快)

客服电话:021-5835-7237  173-2132-1081  180-1647-9018  

详细介绍

产品型号:NBD-HR1200-110IT-170
商品简述:NBD HR系列高温快速热处理退火炉简称RTP。 
该产品采用成熟的制造工艺,RTP快速退火炉造型新颖结构合理; 
目前已被各种试样实验多次验证,RTP快速退火炉并已广泛用于半导体器件研发及生产等领域; 

商品主要用于: 
1.可满足离子注入后的快速退火; 
2.也可用于欧姆接触快速合金; 
3.还可用于硅化物合金退火,氧化物生长; 
4.以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合。 
该设备是国家专利保护产品,专利号:CN201310005931.6
     快速热处理退火炉简称 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),在原有生产制造工艺的基础上不断改进,现已自主研发了该款产品,并拥有发明专利。不但拥有非常快的升温速率500℃/S,而且在烧结工艺运行完结,直接将试样在高温区取出。退火炉实现物理状态下的快速降温。我们的工程师们巧妙地利用了冷壁工艺,退火炉在绿色节能环保的基础上实现了试样的快速升降温!
     设备采用了内管进气、外管出气的气路结构,使得反应气氛与加工样品充分而均匀地接触。退火炉是CVD法生长大尺寸二维石墨烯的常用设备。测温元件直接和试样接触,保证试样温度的准确性。

RTP快速退火炉主要技术参数

最高温度:1200℃

额定温度:1100℃

稳定状态温度范围:100~1000℃

温度测量精度:±0.2℃

温度控制重复性:±1℃

温度控制精确度:±1℃

温场均匀性:±2℃

温度状态工艺时间(S):2~100(100~1000℃)

最快升温速率:500℃/S

降温速率(℃/S):1~200(通氮气,速率更快)

温度控制模式:智能模糊全闭环控制

操控系统:NBD-101智能系统

用户界面:中英文互换

工艺菜单编辑:触屏式图像操作界面

扩充端口:可扩充真空测控和FFC供气

看门狗:系统进入死循环时关闭主控制器

热电偶校准状态检测:软件校准,方便准确,软件分析传感器状态是否正常

超高温状态检测:软件检测出温度信息出现高温异常时,切断主回路

触摸屏尺寸:7"LCD

最大功率:15kw

额定电压:AC380~400V,50Hz(60Hz定制)

传感器类型:S型单铂铑

反应腔室内径尺寸:Φ100X200mm

式样有效空间:3.5"

真空度:4.3×10-3Pa(外配分子泵)

抽气端口尺寸:KF16(或Φ8mm宝塔嘴)

供气口尺寸:Φ6.35mm双卡套

冷却方式:自然冷却或强迫风冷N2或压缩空气:2psi (0.14kg/cm2) – 7psi(0.5kg/cm2)

外形净尺寸(mm):长920×深500×高560

恒温区 (mm):120处理晶片尺寸(in):0~3.5管径(内)(mm):103最快升温速率(℃/S:500反应腔室内径尺寸:Φ100X200mm

功率(AC380V):15kw

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