产品型号：NBD-HR1200-110IT-170
商品简述：NBD HR系列高温快速热处理退火炉简称RTP。 
该产品采用成熟的制造工艺，RTP快速退火炉造型新颖结构合理； 
目前已被各种试样实验多次验证，RTP快速退火炉并已广泛用于半导体器件研发及生产等领域； 

商品主要用于： 
1.可满足离子注入后的快速退火； 
2.也可用于欧姆接触快速合金； 
3.还可用于硅化物合金退火，氧化物生长； 
4.以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合。 
     快速热处理退火炉简称 RTP（Rapid Thermal Processing Furnace），在原有生产制造工艺的基础上不断改进，现已自主研发了该款产品，不但拥有非常快的升温速率500℃/S，而且在烧结工艺运行完结，直接将试样在高温区取出。退火炉实现物理状态下的快速降温。我们的工程师们巧妙地利用了冷壁工艺，退火炉在绿色节能环保的基础上实现了试样的快速升降温！
     设备采用了内管进气、外管出气的气路结构，使得反应气氛与加工样品充分而均匀地接触。退火炉是CVD法生长大尺寸二维石墨烯的常用设备。测温元件直接和试样接触，保证试样温度的准确性。

RTP快速退火炉主要技术参数

最高温度：1200℃

额定温度：1100℃

稳定状态温度范围：100～1000℃

温度测量精度：±0.2℃

温度控制重复性：±1℃

温度控制精确度：±1℃

温场均匀性：±2℃

温度状态工艺时间（S）：2～100（100～1000℃）

最快升温速率：500℃/S

降温速率（℃/S）：1～200（通氮气，速率更快）

温度控制模式：智能模糊全闭环控制

操控系统：NBD-101智能系统

用户界面：中英文互换

工艺菜单编辑：触屏式图像操作界面

扩充端口：可扩充真空测控和FFC供气

看门狗：系统进入死循环时关闭主控制器

热电偶校准状态检测：软件校准，方便准确，软件分析传感器状态是否正常

超高温状态检测：软件检测出温度信息出现高温异常时，切断主回路

触摸屏尺寸：7"LCD

最大功率：15kw

额定电压：AC380～400V，50Hz（60Hz定制）

传感器类型：S型单铂铑

反应腔室内径尺寸：Φ100X200mm

式样有效空间：3.5"

真空度：4.3×10-3Pa(外配分子泵）

抽气端口尺寸：KF16（或Φ8mm宝塔嘴）

供气口尺寸：Φ6.35mm双卡套

冷却方式：自然冷却或强迫风冷N2或压缩空气：2psi (0.14kg/cm2) – 7psi(0.5kg/cm2)

外形净尺寸（mm）：长920×深500×高560

恒温区 （mm)：120处理晶片尺寸（in)：0~3.5管径（内）（mm)：103最快升温速率(℃/S：500反应腔室内径尺寸：Φ100X200mm

功率（AC380V）：15kw